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第41章 芯片设备 (6 / 6)

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        不断的重复这个步骤后,便可完成整齐且复杂的图形。制造ic就是以类似的方式,藉由遮盖的方式一层一层的堆叠起来。

        芯片在制造过程中分为四种步骤,虽然实际制造时,制造的步骤会有差异,使用的材料也有所不同,但是大体上皆采用类似的原理。

        这个流程和油漆作画有些许不同,ic制造是先涂料再加做遮盖,油漆作画则是先遮盖再作画。

        第一步,金属溅镀:将欲使用的金属材料均匀洒在晶圆片上,形成一薄膜。

        第二步,涂布光阻:先将光阻材料放在晶圆片上,透过光罩,将光束打在不要的部分上,破坏光阻材料结构。接着,再以化学药剂将被破坏的材料洗去。

        第三步,蚀刻技术:将没有受光阻保护的硅晶圆,以离子束蚀刻。

        第四步,光阻去除:使用去光阻液皆剩下的光阻溶解掉,如此便完成一次流程。

        最后便会在一整片晶圆上完成很多ic芯片,接下来只要将完成的方形ic芯片剪下,便可送到封装厂做封装。

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