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除了反应室系统仍旧选择行星反应之外,其余的几个部分的系统皆进行了一定程度的改装优化。
“那……”
顾律问出了自己最关心的问题,“那现在,这台设备最大的产量是多少?”
张主任竖起三根手指,“最多可以同时生产三根两英寸的GaN宽禁带半导体!”
“嘶——!”
顾律倒吸一口冷气。
这产量……
据顾律所知,国外Veeco公司斥巨资新研发的一种型号的MOCVD,也就比这个产量稍微高点。
正在顾律啧啧惊叹的功夫,这台设备刚好结束了一轮的工作。
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