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        曹嘉许沉思着点头，他同样没有怀疑辛启天提供的信息真实度，“如果这样的话，看来我们确实时间很紧。老大，有没有可能，直接跨过euv技术，提供四代五代机器？”

        辛启天轻轻摇头，“跨过euv技术，不大可能。毕竟euv阶段，才刚刚起始。没有走到一定阶段，下一阶段，到底开展什么方向研究，我也说不准。”

        “因为，我们不可能完全放弃现有半导体产业，独立去搞其他研究。”

        “那样的话，需要成百上千的工艺去完善整个供应链才行。否则，即便东西在先进，没有配套的产业链，产业环境。”

        “市场很难认可。”

        “我们市场应用率比较低，变革幅度大一些没问题。换成欧美那些国家，让他们换一条路走，需要消耗无数庞大的资源。得不偿失。”

        “不过，我觉得可以在光源上，琢磨琢磨。”

        “现在euv采取的光源研究方向，是大功率2激光器。由于二氧化碳辐射到euv的转换效率为百分之几，二氧化碳源必须提供20k以上的功率的能源。”

        “辐射以50khz的脉冲碰撞~30μ的锡滴。”

        “所以导致，euv不稳定，碎片衰减严重。al他们现在关键攻关的难题，就是大功率2激光器系统。”

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