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第42章 技术阻碍 (2 / 10)

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        那么这些设备到底是什么什么设备呢?

        1、光刻机

        功能:在半导体基材上硅片表面匀胶,将掩模版上的图形转移光刻胶上,把器件或电路结构临时“复制”到硅片上。

        主要企业品牌:

        国际:荷兰阿斯麦asml公司、美国泛林半导体公司、日本尼康公司、日本公司、美国abm公司、德国德国suss公司、美国mycro公司。

        国内:中国电子科技集团第四十八所、中国电子科技集团第四十五所、上海机械厂、成都南光实业股份有限公司。

        &等离子体刻蚀系统

        设备功能:一种或多种气体原子或分子混合于反应腔室中,在外部能量作用下如射频、微波等形成等离子体,一方面等离子体中的活性基团与待刻蚀表面材料发生化学反应,生成可挥发产物;另一方面等离子体中的离子在偏压的作用下被引导和加速,实现对待刻蚀表面进行定向的腐蚀和加速腐蚀。

        主要企业品牌:

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