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沈靖又转过头去和吴博士小声交流着。
陈舟却把注意力转移到了实验装置上。
刚才,吴博士的话提醒了他。
在金刚石掺杂实验中,载流子浓度,会影响霍尔迁移率。
而霍尔迁移率便直接反应着金刚石中硼元素的掺杂程度。
此外,硼元素的掺杂,是通过向mpcvd法制备金刚石薄膜的反应室中加入硼源来实现金刚石的硼掺杂的。
硼源的话,一般会采用含硼的气体,像b2h6和b(ch3)3。
当硼的掺杂浓度较高时,制备的金刚石掺杂是包含了许多点缺陷、线缺陷和面缺陷的。
这些缺陷会捕获载流子,影响金刚石材料的霍尔迁移率,进而影响制备的硼掺杂金刚石。
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